GaAs超格子試料のオージェ深さ方向分析における深さ分解能パラメータに関する検討
(Investigation of Depth Resolution Parameters in Auger Electron Spectroscopy Sputter Depth Profiling of GaAs/AlAs Superlattice under Different Experimental Conditions)
7th International Symposium on Practical Surface Analysis (PSA-1. 2016年10月16日-2016年10月21日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:25:12 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:28:10 +0900