イオン注入と熱酸化の組み合わせによる絶縁体中への酸化物ナノ粒子の形成
(Formation of Oxide Nanoparticles in Insulators by Ion Implantation combined with Oxidation)
東北大金研ワークショップ「イオンビームを用いた高機能材料の創製」. 2004. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:18:59 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:40:16 +0900