電気めっきで作製したCuナノ配線の深さ方向TEM解析
(Orientation of depth dependency in Cu wire for ULSI)
日本金属学会平成22年度秋期講演大会. 2010.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:43:31 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:59:12 +0900