Si・Geへの元素添加によるSi-およびGe/high-k界面修飾の予測
(Prediction of the modification of Si- and Ge/high-k interface bonding)
第73回応用物理学会学術講演会. 2012.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:00:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:26:06 +0900