Atomic-scale analysis of implanted Mg in GaN using correlative atom probe tomography and scanning transmission electron microscopy
International Workshop on the Physics of Semiconductor Devices. 2019年12月17日-2019年12月20日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2020-03-31 03:00:30 +0900 更新時刻: 2024-03-05 12:21:27 +0900