高濃度リンドープn型ダイヤモンド薄膜の作製と評価
(Growth and characterization of heavily phosphorus doped diamond thin films)
2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:04:43 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:29:23 +0900