HOME > 口頭発表 > 書誌詳細スパッタリング法による高品質窒化物薄膜のエピタキシャル成長相馬 拓人, 平出 悠士, 新津 甲大, 笹原 悠輝, 仙田 敬, 水谷 仁美, 吉松 公平, 安田 啓介, 間嶋 拓也, 組頭 広志, 大友 明. 第73回応用物理学会春季学術講演会. 2026年03月15日-2026年03月18日.NIMS著者新津 甲大Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2026-06-13 03:06:56 +0900 更新時刻: 2026-06-13 03:06:56 +0900
