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スパッタリング法による高品質窒化物薄膜のエピタキシャル成長
第73回応用物理学会春季学術講演会. March 15, 2026-March 18, 2026.
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Created at: 2026-06-13 03:06:56 +0900 Updated at: 2026-06-13 03:06:56 +0900