二次イオン質量分析装置を用いた酸素注入GaNの酸素，窒素分析
(Independent analysis of oxygen and nitrogen in oxygen implanted GaN using secondary ion mass spectrometry)
第34回エレクトロセラミックス研究討論会. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:32:24 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:59:58 +0900