コンビナトリアル3元合成法による新規ゲート酸化膜探索とその評価
(Combinatorial ternary phase diagramming for discovery of New gate materials and their characterizations)
Electrical Material Conference (EMC 2003). 2003年06月25日-2003年06月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:05:19 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:50:23 +0900