サファイア基板上への窒化スカンジウム薄膜の作製
(Synthesis of ScN thin films on sapphire substarates)
第24回秋季シンポジウム. 2011.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:07:10 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:07:27 +0900