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著者名板倉 明子, グリネビッチ アンドレイ, 戸田雅也, N.
タイトル自己集合膜を利用したストレスのパターニング
(Surface stress patterning using Self-Assembled Monolayer)
会議名JST領域会議
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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