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レーザ加熱型MOCVD装置を用いた狭い温度範囲でのZnO膜のラテラル成長
(Very narrow temperature window for lateral growth of ZnO thin films by laser heating metalorganic chemical vapor deposition)

著者原田 善之, 角谷 正友.
会議名The 6th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors
発表年2013
言語Japanese

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