Internal stress and polarity control of GaN film by low impurity GaN target
International Workshop on Nitride Semiconductors. 2022年10月09日-2022年10月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-12-08 06:16:33 +0900 更新時刻: 2022-12-08 06:16:33 +0900