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著者名陳 君, プラカッシュ ロニト ロニル, 李 建永, イプトナー カロリン, 宮村 佳児, 原田 博文, 関口 隆史.
タイトル多結晶シリコン中転位分布の不均一性の解析
(The origin of inhomogeneous dislocation distribution in multicrystalline silicon )
会議名第60回応用物理学会春季学術講演会
発表年2013
言語Japanese
外部での文献参照

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