SiCl4の水素ラジカル 還元 による低温 Si 生成
(Low temperature Si generation by the reduction of SiCl4 with hydrogen radical)
第78回応用物理学会秋季学術講演会. 2017.
NIMS著者
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作成時刻: 2018-04-03 22:36:48 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:17:33 +0900