HOME > 口頭発表 > 詳細メタルゲートへの応用を目指した二元系合金による仕事関数制御(Work function control using binary metal alloys for the future metal gate application)著者知京 豊裕, Parhat Ahmet, 中島 清美, ククルズニアック ドミトリー, 吉武 道子, 柳生 進二郎, 山田啓作, 赤坂泰志, 有門径敏. 会議名2004年秋期第65回応用物理学会学術講演会発表年2004言語Japanese
