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メタルゲートへの応用を目指した二元系合金による仕事関数制御
(Work function control using binary metal alloys for the future metal gate application)

著者知京 豊裕, Parhat Ahmet, 中島 清美, ククルズニアック ドミトリー, 吉武 道子, 柳生 進二郎, 山田啓作, 赤坂泰志, 有門径敏.
会議名2004年秋期第65回応用物理学会学術講演会
発表年2004
言語Japanese

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