メタルゲートへの応用を目指した二元系合金による仕事関数制御
(Work function control using binary metal alloys for the future metal gate application)
2004年秋期第65回応用物理学会学術講演会. 2004.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:12:29 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:05:34 +0900