TiN sputter coating for decrease in sliding friction in a vacuum
(真空中の摺動摩擦低減のためのTiNスパッタ膜)
International Symposium on Materials processing for Nanostructur. 2001年09月16日-2001年09月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:09:25 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:09:25 +0900