低温熱酸化中におけるSi ナノワイヤ中のボロン、リン不純物の偏析挙動
(Segregation and interaction of boron and phosphorus impurities in silicon nanowires during low temperature ozone oxidation)
Nanowire 2014. 2014. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:36:20 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:45:16 +0900