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著者名FUKATA, Naoki, Ryo Takiguchi, KAMINAGA, Jun, Riccardo Rurali, JEVASUWAN, Wipakorn, BANDO, Yoshio, Kouichi Murakami.
タイトルSegregation and interaction of boron and phosphorus impurities in silicon nanowires during low temperature ozone oxidation
(低温熱酸化中におけるSi ナノワイヤ中のボロン、リン不純物の偏析挙動)
会議名Nanowire 2014
発表年2014
言語English
外部での文献参照

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