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| 著者名 | 和泉智久, 寺地 徳之, 伊藤利道. |
|---|---|
| タイトル | DCマグネトロンスパッタ法によるナノスケール基板上における高配向薄膜の作製 (English title) |
| 会議名 | 第52回応用物理学関係連合講演会 |
| 発表年 | 2005 |
| 言語 | Japanese |
| 著者名 | 和泉智久, 寺地 徳之, 伊藤利道. |
|---|---|
| タイトル | DCマグネトロンスパッタ法によるナノスケール基板上における高配向薄膜の作製 (English title) |
| 会議名 | 第52回応用物理学関係連合講演会 |
| 発表年 | 2005 |
| 言語 | Japanese |