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Author | Tomohisa Izumi, TERAJI, Tokuyuki, Toshimichi Ito. |
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Title | DCマグネトロンスパッタ法によるナノスケール基板上における高配向薄膜の作製 (English title) |
Event name | 第52回応用物理学関係連合講演会 |
Year of publication | 2005 |
Language | Japanese |
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Author | Tomohisa Izumi, TERAJI, Tokuyuki, Toshimichi Ito. |
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Title | DCマグネトロンスパッタ法によるナノスケール基板上における高配向薄膜の作製 (English title) |
Event name | 第52回応用物理学関係連合講演会 |
Year of publication | 2005 |
Language | Japanese |