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AuthorTomohisa Izumi, TERAJI, Tokuyuki, Toshimichi Ito.
TitleDCマグネトロンスパッタ法によるナノスケール基板上における高配向薄膜の作製
(English title)
Event name第52回応用物理学関係連合講演会
Year of publication2005
LanguageJapanese

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