低速He+イオン散乱分光とパルスジェット法の組み合わせによる駆動中ガスセンサの最表面構造解析に関する検討
(Surface structure analysis of a working gas sensor surface by He+ LEIS combined with pulsed jet technique)
応用物理学会 第68回春季学術講演会. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-05-01 03:00:31 +0900更新時刻: 2021-05-01 03:00:31 +0900