スクリプト制御FIB-SEM装置による自動３次元アトムプローブ試料作製技術の確立
(Automated tip preparation for 3D atom probe by script-controllable FIB-SEM system)
日本顕微鏡学会第79回学術講演会. 2023年06月26日-2023年06月28日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-09-14 03:21:26 +0900更新時刻: 2023-09-14 03:21:26 +0900