Structural quality of AlN epilayer grown on atomic layer deposition (ALD)-Al2O3/ sapphire substrate
The Japan Society of Applied Physics Spring Meeting, 2016. 2016年03月19日-2016年03月22日.
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作成時刻: 2017-01-08 04:11:49 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:56:11 +0900