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酸化ガス照射下でのXPSによるGaN表面化学状態の動的その場観察
(Dynamic observation of oxidation on GaN surface by real-time XPS under irradiating oxidation gas)

著者角谷 正友, 津田泰孝, 坂本徹哉, 隅田真人, サン リウエン, 原田 善之, 冨永亜希, 吉越章隆.
会議名第82回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2021
言語Japanese

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