単結晶ターゲットを用いたパルスレーザー堆積法によるGaN薄膜の作製
(Fabrication of the GaN thin films by laser ablation using single crystalline GaN target.)
2004年春季応用物理学関係連合講演会. 2004.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:19:09 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:56:08 +0900