SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

Silicon Microstructure Fabricated by Laser Micro-Patterning Method Combined with Wet Etching Process

OOISHI, TETSUO, GOTO, Masahiro, Yuriy PIHOSH, KASAHARA, Akira, TOSA, Masahiro.
APF-9. 2004.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2017-02-22 22:48:57 +0900 更新時刻 :2017-07-10 18:57:19 +0900

    ▲ページトップへ移動