角度可変反射電子エネルギー損失スペクトルの因子分析を用いた解析　－Ⅲ族-Ⅴ族半導体(GaSb,GaP,GaN)におけるエネルギー損失関数－
(Application of factor analysis to REELS with variable emission angle - Evaluation of energy loss functions of GaSb,GaP and GaN-)