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著者名田中 肇, 篠塚 寛志, 岩井 秀夫, 吉川 英樹, 田沼 繁夫.
タイトル角度可変反射電子エネルギー損失スペクトルの因子分析を用いた解析 −Ⅲ族-Ⅴ族半導体(GaSb,GaP,GaN)におけるエネルギー損失関数−
(Application of factor analysis to REELS with variable emission angle - Evaluation of energy loss functions of GaSb,GaP and GaN-)
会議名第36回表面分析研究会
発表年2011
言語Japanese

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