極低角度入射ビームを用いたオージェ深さ方向分析による極薄膜多層試料の評価
(Auger Depth Profiling Analysis of Multilayer Thin Film Using an Ultra Low Angle Incidence Beam )
第33回表面科学学術講演会. 2013年11月26日-2013年11月28日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:10:03 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:41:11 +0900