Vapor-assisted bonding method as a tool for materials hybridization in future 3D integration
(3次元ハイブリッド実装のツールとしての水和物架橋補助低温大気圧接合技術)
IUMRS-ICEM2014. 2014. 招待講演
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 05:24:04 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:45:10 +0900