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著者名籾田 浩義, 濱田智之, 山本武範, 宇田毅, 梅澤 直人, 白石賢二, 知京 豊裕, 大野 隆央.
タイトルハフニウム系絶縁膜材料の誘電率に対する窒素の効果:第一原理計算
(Effect of Nitrogen Doping on Dielectric Constant of Hafnium-Related Materials: A First-Principles Study)
会議名2005年(平成17年)秋季第66回応用物理学会学術講演会
発表年2005
言語Japanese
外部での文献参照

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