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著者名IGARASHI, Shinichi, ITAKURA, Akiko, KITAJIMA, Masahiro, L.Chu, A.N.Chifen, R. Foerch, R. Berger.
タイトルStress control on Si surface with ultraviolet light irradiation to plasma polymerized allylamine film
会議名ICTF13/ACSIN8
発表年2005
言語English
外部での文献参照

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