(High-performance gate dielectric compositions in the ternary Y2O3-HfO2-Al2O3 system)
2004 Fall Meeting. 2004年11月29日-2004年12月03日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-25 00:46:57 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:09:07 +0900