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GaNテンプレート基板のためのSi基板上無極性面AlN結晶成長の作製条件の検討
(Study on the crystal growth conditions of non-polar AlN on Si for GaN template substrate)
2021年 第68回 応用物理学会 春季学術講演会. March 16, 2021-March 19, 2021.
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Created at: 2021-08-07 03:00:26 +0900 Updated at: 2021-08-07 03:00:26 +0900