GaNテンプレート基板のためのSi基板上無極性面AlN結晶成長の作製条件の検討
(Study on the crystal growth conditions of non-polar AlN on Si for GaN template substrate)
2021年 第68回 応用物理学会 春季学術講演会. 2021年03月16日-2021年03月19日.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-08-07 03:00:26 +0900 更新時刻: 2021-08-07 03:00:26 +0900