BCl3-NH3系およびボラジン系CVD法による六方晶窒化ホウ素合成
(Synthesis of hexagonal boron nitride by chemical vapor deposition using BCl3-NH3 and borazine)
第１９回 ダイヤモンドシンポジウム. 2005.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:05:49 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:29:55 +0900