光支援プラズマCVDによるsp3結合性BNの新結晶相：基礎と電子デバイスへの応用
(New phases of sp3-bonded boron nitride prepared by photo-assisted plasma processing methods: the fundamentals and applications to electronic devices)
ICACNM-2011. 2011年02月23日-2011年02月26日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:42:54 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:43:16 +0900