レーザ基板加熱MOCVD法によるZnO薄膜の作製
(ZnO film growth by MOCVD equipped with laser heating system)
2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会. 2006.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:45:37 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:42:36 +0900