レーザ基板加熱MOCVD法によるZnO薄膜の作製
(ZnO film growth by MOCVD equipped with laser heating system)
| 著者 | 藤本英司, 角谷 正友, Mikk Lippmaa, 大西剛, 鯉沼秀臣. |
|---|---|
| 会議名 | 2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会 |
| 発表年 | 2006 |
| 言語 | Japanese |
| 著者 | 藤本英司, 角谷 正友, Mikk Lippmaa, 大西剛, 鯉沼秀臣. |
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| 会議名 | 2006年秋季 第67回応用物理学会学術講演会 |
| 発表年 | 2006 |
| 言語 | Japanese |