SiO2/4H-SiC界面における界面準位と界面構造の相関
(Atomic structures and interface states density at SiO2/4H-SiC interface)
日本表面・真空学会. 2020.
NIMS著者
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作成時刻: 2020-12-10 03:00:23 +0900更新時刻: 2020-12-10 03:00:23 +0900