高出力MWPCVD法により作製したダイヤモンド薄膜におけるボロン濃度の(100)面に対するオフ角依存性
(Dependence of Off-angle from (100) Surface on Boron-Doping Concentration in High-Quality Diamond Films Grown by High-Power MWPCV)
第53回応用物理学会学術講演会. 2006.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:01:04 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:35:15 +0900