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著者名有馬和也, 宮武 秀宇, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトル高出力MWPCVD法により作製したダイヤモンド薄膜におけるボロン濃度の(100)面に対するオフ角依存性
(Dependence of Off-angle from (100) Surface on Boron-Doping Concentration in High-Quality Diamond Films Grown by High-Power MWPCV)
会議名第53回応用物理学会学術講演会
発表年2006
言語Japanese

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