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(GaxIn1-x)2O3 固溶体によるβ-Ga2O3 型結晶薄膜の欠陥・電子状態制御の検討

成 浩, 宝賀 剛, 上田 茂典, 小椋 厚志, 知京 豊裕, 長田 貴弘.
第59回日本電子材料技術協会秋期講演大会. 2022年11月24日-2022年11月25日.

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    作成時刻: 2022-12-09 03:30:09 +0900更新時刻: 2022-12-09 03:30:09 +0900

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