斜入射・検出法を用いたデルタドープ層の高感度AES及びXPSスパッタ深さ分析
(High-sensitive depth profiling of delta-doped layers by glancing angle irradiation and detection)
第30回表面科学学術講演会. 2010年11月04日-2010年11月06日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:25:07 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:55:04 +0900