アモルファス酸化物薄膜半導体 In-Si-O 薄膜の相安定性
(Phase Stability of Amorphous Oxide Semiconductor In-Si-O Thin Films)
第66回応用物理学会春季学術講演会. 2019.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-04-02 19:23:15 +0900更新時刻: 2019-04-02 19:23:15 +0900