反応性スパッタ法を用いた無極性AlN薄膜成長における自己電圧効果の検討
(Self-bias effect on non-polar AlN thin film growth by reactive sputtering)
第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-03-04 09:37:24 +0900更新時刻: 2019-03-04 09:37:24 +0900