Plasma-enhanced atomic layer deposition of zinc oxide thin films using a liquid cyclopentadienyl-based precursor and oxygen plasma
MNC 2022, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2022年11月08日-2022年11月11日.
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作成時刻: 2023-02-24 17:19:40 +0900 更新時刻: 2023-02-24 17:19:40 +0900