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著者名渡辺 健太郎, 馬場 正和, 野久尾 毅, 関口 隆史, 山根 久典, 末益 崇.
タイトルProbe-EBIC法によるSi基板上BaSi2薄膜の少数キャリア拡散長評価
(Minority carrier diffusion in BaSi2 thin films studied by probe-EBIC technique)
会議名日本顕微鏡学会 第70回学術講演会
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

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