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機械学習を活用したclosed-loop optimizationによるエピタキシャルTiN薄膜成長と超伝導特性

著者大久保 勇男, ホー ズーフォン, 相澤 俊, Jiyeon N. Lee, 津田 宏治, 知京 豊裕, Mikk Lippmaa, 森 孝雄.
会議名2021年 第68回 応用物理学会 春季講演会
発表年2021
言語Japanese

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