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機械学習を活用したclosed-loop optimizationによるエピタキシャルTiN薄膜成長と超伝導特性

大久保 勇男, ホー ズーフォン, Jiyeon N. Lee, 相澤 俊, Mikk Lippmaa, 知京 豊裕, 津田 宏治, 森 孝雄.
2021年 第68回 応用物理学会 春季講演会. 2021年03月16日-2021年03月19日.

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    作成時刻: 2021-06-09 03:00:20 +0900更新時刻: 2021-06-09 03:00:20 +0900

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