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Self-Temperature-Compensated GaN MEMS Resonators through Strain Engineering up to 600 K

SANG, Liwen, サン フアンイン, Xuelin Yang, Tiefu Li, Bo Shen, LIAO, Meiyong.
IEDM 2020. 2020年12月12日-2020年12月18日.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2020-12-29 03:00:23 +0900更新時刻: 2020-12-29 03:00:23 +0900

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