Mechanism of Vfb shift in HfO2 gate stack by Al diffusion from (TaC)1-xAlx gate electrode
((TaC)1-xAlx電極からのAl拡散によるHfO2ゲートスタックにおけるVfbシフトのメカニズム)
221st ECS Meeting. 2012年05月06日-2012年05月11日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 13:20:27 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:44 +0900