サファイア基板上単層MoS2へのレジストフリー界面ゲートスタック形成
(Gate stack fabrication with resist-free interface on epitaxial monolayer MoS2 on sapphire substrate)
2025年 第86回応用物理学会秋季学術講演会. 2025年09月07日-2025年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2025-12-09 03:12:01 +0900 更新時刻: 2025-12-09 03:12:01 +0900